日本YAMATO大型等離子清洗機 V1500X 詢價或索取資料請點擊
Specifications（規格簡介）
Model（型號）
V1500X
Plasma method （等離子模式）
RIE • DP mode
Electrode（電極構造）
Parallel flat stage plate
Electrode material（電極材料）
SUS-304
Chamber temperature（工作室溫度）
Digital display（數碼溫度顯示）
RF generator（高頻功率）
100~1500W
Oscillation（振蕩頻率）
13.56MHz
Control system（控制系統）
LCD Touch panel with PLC
Tuning method（調諧方法）
Automatic and Manual自動和手動
Timer（定時）
1sec-9H 59min 59 sec
Chamber size（內槽尺寸）
(W)600×(D)550×(H)600mm
Stage size（工作臺尺寸）
(W)460×(D)400mm
Chamber material（工作室材料）
Aluminum
Reaction gas（反應氣體）
O2,Ar,CF4混和氣體
Purge gas（凈化氣體）
N2 or Dry air
Flow meter（流量計）
Mass flow control 2 line雙路聚合控制
Vacuum pump（真空泵排氣量）
1,400L/min
Emergency stop switch(緊急停止開關)
Push type switch
Gas port（氣體端口）
2 pc (1/4"SUS swage - lock)
Purge port（凈化端口）
1pc (1/4"SUS swage - lock)
Vacuum port（真空泵端口）
1pc (SUS NW40)
External dimension（外形尺寸）
(W)900×(D)1,000×(H)1,700mm
Power supply（電源供應）
AC200/220/380V 3 phase 25A
Weight（重量）
Approx. 300kg
聯系人：付先生 電話： 0755-83986300 0755-83980158 傳真： 0755-83980158 公司郵箱：df@gdojbk.com 在線客服: 285480356 375328904 1375465239
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