|
Model（型號）
|
PB600
|
PB1000S
|
PA600D
|
|
Plasma method（工作模式）
|
Barred type of DP mode （隔絕型DP模式）
|
DF mode（DF模式）
|
|
Electrode（電極結構）
|
Split of Opposite electrode structure
（對面分離式構造）
|
Round type electrode structure（球形構造）
|
|
RF generator（高頻功率）
|
0 to 600W
|
50 to 1,000W
|
0 to 600W
|
|
Oscillating frequency（振蕩頻率）
|
13.56MHz
|
|
Control system
（控制系統）
|
Digital display with PLC control
（PLC控制數碼顯示）
|
Touch panel with PLC
（PLC控制液晶觸摸顯示屏）
|
Digital display with one touch operation
（數碼顯示單接觸運行）
|
|
Tuning method（調諧方式）
|
Automatic and Manual tuning（全自動及手動）
|
|
Timer（定時設定）
|
1 sec. to 9H 59min.59 sec.（1秒---9小時59分59秒）
|
|
Chamber（反應室）
|
Made of quart glass（石英）
|
|
Chamber size（反應室尺寸）
|
ø200×300mmL
|
ø300×500mmL
|
Adapt for 6 inch wafer
|
|
Chamber temperature(反應室溫度)
|
Digital display（數碼顯示）
|
|
Reaction gas（反應氣體）
|
O2,CF4 or others
|
O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
|
|
Purge gas（凈化氣體）
|
N2 or Dry air（氮氣或潔凈干燥空氣）
|
|
Flow meter（流量計）
|
Flow meter 1 line
（線型流量計）
(O2 0 to 1,000 ml/min.)
|
Mass flow control with digital display
（聚合控制、數碼顯示）
(CF4 0 to 300sccm, O2 0 to 1,000sccm)
|
|
Vacuum gauge（真空測量）
|
Piranie type
(0.4 to 3,000Pa/0.004 to 30Torr)
|
Digital display (0.4 to 3,000Pa/0.004 to 30Torr)
|
|
Vacuum pump（真空泵）
|
250 ml/min.
|
700 ml/min.
|
|
Emargency stop switch（緊急停止）
|
Push type switch（按動式）
|
|
Gas port（反應氣體端口）
|
1 line (1/4" SUS Swagelok)
|
2 line (1/4" SUS Swagelok)
|
|
Purge port（凈化氣體端口）
|
1 line (1/4" SUS Swagelok)
|
1 line (1/4" SUS Swagelok)
|
|
Vacuum port（真空端口）
|
1 line ( SUS NW25)
|
1 line ( SUS NW25)
|
|
External dimensions（外形尺寸）
|
500mmW×600mmD×650mmH
|
640mmW×850mmD×1,695mmH
|
650mmW×800mmD×1,500mmH
|
|
Power supply（電源規格）
|
AC200/220/380V, 3 phase
and AC100/220V, single phase
|
|
Weight（重量）
|
Approx. 130kg
|
Approx. 180kg
|
Approx. 150kg
|
